etsen in vlsi

Wat is etsen in VLSI?
Wat is ets en zijn soorten?
Wat wordt bedoeld met etsproces?
Wat is het doel van etsen?
Hoe controleer je het etsen??
Wat is een plasma-etsproces?
Wat zijn twee technieken die worden gebruikt bij het etsen?
Wat is het verschil tussen nat etsen en droog etsen?
Wat is het verschil tussen etsen en graveren?
Als de etsselectiviteit hoog is, betekent dit?
Wat betekent originele etsing?

Wat is etsen in VLSI?

Ets om een patroon op een ondergrond te maken. Bij de fabricage van halfgeleiderapparaten verwijst etsen naar elke technologie die selectief materiaal verwijdert van een dunne film op een substraat (met of zonder eerdere structuren op het oppervlak) en door deze verwijdering een patroon van dat materiaal op het substraat creëert..

Wat is ets en zijn soorten?

Over het algemeen zijn er twee soorten etsprocessen: nat etsen waarbij het materiaal wordt opgelost wanneer het wordt ondergedompeld in een chemische oplossing. Droog etsen waarbij het materiaal wordt gesputterd of opgelost met behulp van reactieve ionen of een dampfase-etsmiddel.

Wat wordt bedoeld met etsproces?

Etsen is traditioneel het proces waarbij sterk zuur of bijtmiddel wordt gebruikt om in de onbeschermde delen van een metalen oppervlak te snijden om een ontwerp in diepdruk (ingesneden) in het metaal te creëren. ... bij traditioneel puur etsen wordt een metalen plaat (meestal van koper, zink of staal) bedekt met een wasachtige ondergrond die bestand is tegen zuur.

Wat is het doel van etsen?

Ets wordt gebruikt om de microstructuur van het metaal bloot te leggen door middel van een selectieve chemische aanval. Het verwijdert ook de dunne, sterk vervormde laag die tijdens het slijpen en polijsten is ontstaan. In legeringen met meer dan één fase creëert etsen contrast tussen verschillende gebieden door verschillen in topografie of reflectiviteit.

Hoe controleer je het etsen??

Nat chemisch etsen is isotroop en produceert microkanalen met ronde zijwand. De vorm en hoek van de zijwand kunnen worden aangepast door titanium toe te passen als een terugwijkend masker tijdens nat etsen (Fig. 1.5) (Pekas et al., 2010). De diepte van het kanaal wordt bepaald door de etssnelheid en etsduur.

Wat is een plasma-etsproces?

Plasma-etsen is een vorm van plasmabewerking die wordt gebruikt om geïntegreerde schakelingen te fabriceren. ... tijdens het proces genereert het plasma vluchtige etsproducten bij kamertemperatuur door de chemische reacties tussen de elementen van het geëtste materiaal en de reactieve soorten die door het plasma worden gegenereerd.

Wat zijn twee technieken die worden gebruikt bij het etsen?

Sindsdien zijn er veel etstechnieken ontwikkeld, die vaak in combinatie met elkaar worden gebruikt: etsen met een zachte ondergrond maakt gebruik van een niet-drogende resist of grond om zachtere lijnen te produceren; spuugbeet omvat schilderen of spatten van zuur op de plaat; open beet waarin delen van de plaat worden blootgesteld aan zuur zonder ...

Wat is het verschil tussen nat etsen en droog etsen?

Droog en nat etsen zijn twee hoofdtypen etsprocessen. Deze processen zijn nuttig voor het verwijderen van oppervlaktematerialen en het creëren van patronen op de oppervlakken. Het belangrijkste verschil tussen droog etsen en nat etsen is dat droog etsen wordt gedaan in een vloeistoffase, terwijl nat etsen wordt gedaan in een plasmafase..

Wat is het verschil tussen etsen en graveren?

Het belangrijkste verschil tussen hen is dat graveren een fysisch proces is en etsen een chemisch proces. Een graveur gebruikt scherpe gereedschappen om lijnen direct in een oppervlak te snijden, terwijl een etser lijnen met zuur in een oppervlak brandt.

Als de etsselectiviteit hoog is, betekent dit?

Hoge selectiviteit is een relatieve term om te beschrijven wanneer twee materialen met significant verschillende etssnelheden etsen om de gewenste resultaten te verkrijgen. Vaak verwijst het naar gevallen waarin het masker langzaam aan het etsen is in vergelijking met het materiaal dat met het etsen in patroon wordt gebracht.

Wat betekent originele etsing?

Het etsen is een oud medium en werd in het eerste kwart van de 16e eeuw in Duitsland geperfectioneerd. De afbeelding voor een ets is gemaakt op een metalen plaat. ... De inkt wordt met kracht op het papier overgebracht door een speciale etspers. Wanneer het papier van de plaat wordt verwijderd, is een originele ets te zien.